रुद्राभिषेक की प्रक्रिया में शिव परिवार का आह्वान किया जाता है, जिसमें नंदी, वीरभद्र, स्वामी कार्तिकेय और कुबेर शामिल हैं. इसके बाद सर्प और प्रधान देवता भगवान त्रिपुरारी शिव जी का आह्वान होता है. पूजन के लिए मूर्ति में प्राण प्रतिष्ठा की जाती है, जिसे 'चल प्रतिष्ठा' कहते हैं, जिससे इसे कहीं भी ले जाकर पूजन किया जा सकता है. यह बताया गया है कि घर पर रुद्राभिषेक कराने से भी वही फल प्राप्त होता है जो मंदिर में मिलता है. द्वादश ज्योतिर्लिंगों में गर्भगृह में रुद्राभिषेक संभव नहीं होता, लेकिन घर पर शत प्रतिशत उतना ही फल प्राप्त होता है.